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发布时间:2020-09-15 22:27:33
光波超精密——铝镜高速气浮微孔钻
气浮轴承(平面空气静压i轴承、止推空气轴承)广泛应用于高精度设备中,比如集成电路生产设备、平面显示器生产设备、半导体生产设备、电子生产设备、太阳能电池生产设备、新型元器件生产设备、检验和测量设备以及高精度机床等。气浮轴承是静压气浮运动平台的重要组成部件,在工作过程中起承载和导向之作用,它决定了气浮装备的精度和性能,因此在设计时气浮轴承的选择是十分关键的。
选择气浮轴承时,主要应考虑下述因素:
1)承载能力
足够的承载能力可确保气浮轴承将系统“浮”起来,这是***基本的要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下(规格、气隙、供气压力)的承载能力。
2)刚度(static stiffness 和 tilt stiffness)
足够的刚度是保证气浮系统在设计条件下稳定工作的必要条件。选择时一般考虑静刚度(static stiffness ),但有些情况下也必须考虑倾侧刚度(tilt stiffness),否则系统可能也无法达到设计性能指标要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下(规格、气隙、供气压力)的刚度。
1)阻尼特性
阻尼大的气浮轴承较好,这样可以保证气浮系统工作稳定。由于气浮轴承采用的节流技术和制造工艺不同,所以各个厂商生产的气浮轴承阻尼特性也有很大差异。
2)互换性
同一厂家生产的同样规格气浮轴承的上述性能指标在相同使用条件下肯定存在一定差异,但如果差异太大的话气浮轴承就不具备互换性,换言之,这样的气浮轴承在使用之前必须逐个进行检测,以挑选出性能近似的使用(配型)。由于节流技术和制造工艺的原因,目前市场上绝大部分厂商的气浮轴承不具备互换性,选择时简单询问一下生产厂商或者看一下给出的技术参数就可以知道气浮轴承是否具有互换性。
3)性能稳定性
有些气浮轴承在使用过程中性能指标会发生较大的变化,原因是实际使用条件发生了改变,即使改变程度非常之小。气浮轴承对使用条件的敏感程度主要与节流方式和制造工艺有关,比如表面复合节流型气浮轴承对气隙和角度的变化非常敏感,多孔质型则对温度变化以及压缩空气中残留的油、水和微颗粒非常敏感。
4)经济性
与气耗量有直接关系,不同厂商的气浮轴承气耗量可能存在较大差别,一般认为气耗量越小越好,比较不同厂商的气浮轴承在同样条件下(规格、气隙、供气压力)的气耗量即可得出结论。
国产气浮轴承和国际知i名品牌差别主要是:
1、气浮轴承的精度、离散度相差一倍以上。
2、在振动、噪声与异音方面相差10dB以上。
3、在寿命与可靠性方面相差一倍以上。
4、在高速性能方面相差一倍以上。
目前世界气浮轴承市场我国大约10%左右,销量占据世界第三。但与世界气浮轴承强国相比,我国气浮轴承还存在很大差距。主要表现就是高技术、高精度、高附加值的产品比列低,产品的离散度差,稳定性还需要进一步提高与改进。
国产气浮轴承虽然和进口气浮轴承有着很多的差距,但经过国内广大科技人员以及气浮轴承装备制造企业、气浮轴承生产企业的共同努力下,这一落后局面一定能够改变。
空气bai轴承是利用空气i弹性势来起支du承作用的一种新型轴承。基于空气的固zhi有属性(粘度低且随温度变化dao小、耐辐射等),空气轴承在高速、低摩擦、高温、低温及有辐射性的场合,显示了独具的优越性。
结构:由轴承内圈和外圈,外圈上有空气的进出口空,内圈上有喷嘴。具体见附图
用途:在高速磨头、高速离心分离器、陀螺仪表、原子反应堆冷却用压缩机、电子计算机记忆装置等技术上,采用了空气轴承,突破了使用滚动轴承或油膜轴承所不能解决的困难。
精度:空气轴承提供极高的径向和轴向旋转精度。由于没有机械接触,磨损程度降到了***低,从而确保精度始终保持稳定。
典型的同步径向偏摆值:lt;10微米(PCB钻孔主轴,高速)
典型的非同步径向偏摆值:lt;0.025微米(磁盘测试主轴,低速)
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