高速三坐标气浮轴承-光波超精密-朝阳区三坐标气浮轴承

光波超精密气浮轴承厂家——三坐标气浮轴承

标准型空气静压i轴承（简称标准空气轴承）分为两种，即

圆形平面空气轴承和矩形平面空气轴承。

根据工作面直径，标准圆形平面空气轴承系列分为Ф12，Ф18，Ф24，Ф30，高速三坐标气浮轴承，Ф45，Ф60，Ф80，Ф100， Ф125，Ф400等数种规格。

根据工作面尺寸，标准矩形平面空气轴承系列分为54x25，69x50，75x55，80x40，90x71，98x79，110x55等数种规格。

光波超精密气浮轴承厂家——三坐标气浮轴承

这类平面空气轴承通常也称为气浮垫、气垫或者气浮块。

与机构的连接方式：刚性连接（用螺栓直接固定，数种规格的矩形平面空气轴承）、柔性连接（通过球头螺

杆或高刚度铰支连接）。

预载方式：重力预载、真空预载、磁性力预载、使用带活塞空气轴承预载、借助其它空气轴承预载等。

工作气隙：一般5-10μm，取决于具体应用场合。

光波超精密气浮轴承厂家——三坐标气浮轴承

气浮轴承是各类精密气浮运动平台（包括精密线性气浮运动平台、精密气浮转台以及两者的组合等）必不可少的组成部件，它决定了静压气浮装备的精度和性能，因此设计之初气浮轴承的选择、选用至关重要。

由于气浮轴承的参数、性能与其采用的节流技术有关，所以在选择之初首先应当对节流技术及其特点有充分的了解。

根据节流技术目前市场上气浮轴承的主要分为：单小孔节流型、多小孔节流型、微沟槽节流型、多孔质材料节流型和微孔节流型等，详细请参见“气浮轴承-节流方式与特点”。

光波超精密气浮轴承厂家——三坐标气浮轴承

选择气浮轴承时，具体应考虑下述因素：

1）承载能力

足够的承载能力可确保气浮轴承将系统“浮”起来，这是***基本的要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下（规格、气隙、供气压力）的承载能力。

2）刚度（static stiffness 和 tilt stiffness）

足够的刚度是保证气浮系统在设计条件下稳定工作的必要条件。选择时一般考虑静刚度（static stiffness ），但有些情况下也必须考虑倾侧刚度（tilt stiffness），否则系统可能也无法达到设计性能指标要求。选择时应注意比较不同厂商气浮轴承在同样条件下（规格、气隙、供气压力）的刚度。

光波超精密——三坐标气浮轴承

微沟槽节流型气浮轴承

节流器由数个小孔以及微沟槽构成，见图3，朝阳区三坐标气浮轴承，也是一种表面复合节流型气浮轴承，这类气浮轴承没有设置腔室，但这种结构存在死容积区。

主要缺点是倾侧刚度差、稳定性和阻尼以及动态性能等方面很差。实践证明：随着气隙高度增加，微沟槽型气浮轴承的承载能力和刚度均迅速下降。对于高速直线机构、或者高频主轴来说，上述问题可能会造成比较严重的后果。 自激振动大。

多孔质材料节流型气浮轴承

这种类型气浮轴承使用的多孔质材料为节流器，理论上可以使空气分配均匀。多孔质材料一般经烧结制成，在实际生产中很难确保孔隙的大小和分布比较均匀，精密三坐标气浮轴承，因此表面出气量会出现偏差，气浮轴承各处的性能会有差别，由于烧结材料性能的不确定因素，因此这种气浮轴承不具有互换性。此外，这种类型气浮轴承只能在一定温度范围内使用，因为温度的变化会造成孔隙的变化，且对压缩空气中残留的微量油、水和微颗粒等非常敏感，因为这会对节流i产生很大影响。这种结构同样存在死容积区，空气三坐标气浮轴承，因此自激振动也很大。

光波超精密——三坐标气浮轴承

微孔节流型气浮轴承

节流器由n个微孔构成，见图5，微孔的数量、形状、直径和布置方式经过准确的计算。承载能力、静刚度和侧倾刚度很高且耗气量很低。阻尼高，动态性能非常出色。振动极i小，导向精度很高。

气隙相同时，微孔节流型气浮轴承的承载能力明显高于其它节流类型的气浮轴承；

承载能力相同时，微孔节流型气浮轴承的静刚度明显高于其它节流类型的气浮轴承。